系統功能：

1）實(shi)時測量離子束(shu)電流；

2）計算被注(zhu)入器件離子束累加(jia)劑量，控制(zhi)離子注(zhu)入完成時間；

3）精確控制工藝腔內(nei)掃描盤轉動完(wan)成離子注入工藝；

4）精確控(kong)制離子束注入(ru)(ru)角度，保證離子束注入(ru)(ru)質量(liang)；

技術特點：

 1）芯(xin)片制(zhi)造中核心(xin)關鍵設備子系統(tong)國(guo)產(chan)化平替(ti)；

2）搭載實時操(cao)作系統，保證(zheng)離子注入(ru)工藝穩定可(ke)靠；

3）高精度劑量(liang)測(ce)量(liang)與實時計算累計劑量(liang)；

4）系統靈活度高，劑量控制系統完美適配(pei)高能離子注入機(ji)、中束流離子注入機(ji)、大(da)束流離子注入機(ji)；